超精密加工技術(shù)在國(guó)防工業(yè)、信息產(chǎn)業(yè)和民用產(chǎn)品中都有著廣泛的應(yīng)用前景。在國(guó)防工業(yè)中,導(dǎo)彈陀螺儀的質(zhì)量直接影響其命中率,1kg的陀螺轉(zhuǎn)子,其質(zhì)心偏離對(duì)稱軸0.0005μm,就會(huì)引起100m的射程誤差和50m的軌道誤差。在宇航技術(shù)中,衛(wèi)星的姿態(tài)軸承為真空無(wú)潤(rùn)滑軸承,其孔和外圓的圓度及圓柱度均為納米級(jí)。衛(wèi)星用的光學(xué)望遠(yuǎn)鏡、電視攝像系統(tǒng)、紅外傳感器等,其光學(xué)系統(tǒng)中的高精度非球面透鏡等都必須經(jīng)過(guò)超精密車、磨、研、拋等超精密加工。此外,大型天體望遠(yuǎn)鏡的透鏡、紅外線探測(cè)器反射鏡,激光核聚變用的曲面鏡等都是靠超精密加工才能制造。在信息產(chǎn)業(yè)中,計(jì)算機(jī)芯片、磁盤和磁頭,復(fù)印機(jī)的感光鼓等都要經(jīng)過(guò)超精密加工才能達(dá)到要求。民用產(chǎn)品中的許多產(chǎn)品,如隱形眼鏡,就是用超精密數(shù)控車床加工而成的。
實(shí)現(xiàn)超精密加工的方法主要有:超精密切削,如超精密金剛石刀具鏡面車削、鏜削和銑削等;超精密磨削、研磨和拋光;超精密微細(xì)加工(電子束、離子束、激光束加工以及硅微器件的加工、LIGA技術(shù)等)。
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